眼睛一眨不眨地看着仪器。
作为刻蚀行业沉浸几十年的大佬,尹之耀心里不断地评价着这座实验室。
按理来说,其实面对王东来设计出来的这一份刻蚀方案,不应该这么激动和看重。
王东来和陈凌岳等人见到尹之耀这样的表现,心里也不禁对尹之耀生出了一丝钦佩。
作为沉浸这一行几十年的老专家,在他手上其实也研发出来过不少先进的刻蚀方案。
毕竟这么大岁数的人了,还能对技术保持这样的心态,属实是很不错了。
这种刻蚀过程同时兼具物理和化学两种作用,辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行,硅片处于阴极电位,放电时的电位大部分降落在阴极附近,大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速,垂直入射到硅片表面上,以较大的动量进行物理刻蚀,同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应,产生化学刻蚀作用。
因为一个很简单的道理,技术越往后发展,所受到的掣肘也就越大,需要避开的东西也就越多。
而现在,尹之耀的面前就有这些仪器。
因为他已经确定了,王东来的这份蚀刻方案确实是合格的,甚至是优秀。
而尹之耀则是第一时间,想要进去看看结果如何,便看向王东来准备出声征求意见。
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