地方小只能依赖外国市场和外国资源,奈何两大市场都不好混。
阿中是有世仇,日本自己也拧巴的很。
阿美更暴力,纯纯当血包吸了。
钱老对于这些倒是没什么评价,反而沉吟片刻后道:“如果按照‘单片反应腔’的规格,是否效率有些太低了?”
翟达一愣:“呃如果扩大腔体,比如双托盘同时沉积,那么腔体体积更大,气体系统的湍流问题会更复杂,影响均匀性。”
虽然零帧起手就是技术问题,他回答的很快。
老师却摇摇头道:“湍流虽然难以预测,但可以干预,单纯因为湍流问题放弃效率提升,不如想想如何解决最终目标。”
“比如在扩大腔体的同步,降低长径比,可以有效减少涡流区域,同时在气体入口安装蜂窝结构导流板,即可进一步破碎大涡流。”
翟达眼睛一亮。
“另外透过现象看本质,湍流对你来说的影响在于均匀性,那如果有其他措施补偿,也未尝不能忍受,我想到两个,一个是用红外列阵的方式加热,可以提升温度均匀性,继而补偿沉积均匀性,另一个是气阀高频开关,亦可避免连续气流造成的涡旋,碳化硅功率器件应该很容易做到。”
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