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第326章 出题与解题 (6 / 14)
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即使掩膜版上有一个尘埃,经过光学系统的缩小,对单个芯片的影响也相对可控。
但NIL是接触式的,是物理压印!
这意味着,只要有一个纳米级的颗粒掉在模板上,或者在压印过程中产生,会发生什么?”
他停顿下来,让所有人有时间能思考这个问题。
“结果就是,这个缺陷会被模板像图章一样,盖在它接触的每一个芯片单元上。
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