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第326章 出题与解题 (5 / 14)
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这个词一出口,就引起了一阵小小的骚动。
中芯国际的代表梁孟松显然对缺陷这个词很敏感,他马上皱起了眉头。
陈磊伸出一根手指,语气变得无比严肃:“传统的光刻,无论是DUV还是EUV,都是非接触式的。
这点在座各位我相信都非常清楚。
光穿过掩膜版,投射在晶圆上。
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