具体怎么回事儿,反正齐磊也不懂,就知道湿刻比干刻有优势,可以在不改变光刻机其它部件和精度的情况下,突破193纳米的极限。
这也是齐磊在后世的报道中得到的只言片语。
而且还知道,这个从干刻到湿刻的过程,正是台积电的一个技术人员提出来的。
他也是偶然的一个创意,随口说了句,“只要往光刻机里注水,芯片制程就能大幅度提高。”
最后成就了这次技术革命。
是的,没错,就是这么简单!
虽然由原本的光刻技术到湿刻的过程肯定比这么一句话复杂得多,也有难度得多。
可是,原理就是这么简单,就是一个随口而出的创意。
而EUV
LLC之所以这么保密,原因也在这儿,太简单了!
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