“据我所知，台积电没有增产计划。”
“第二，都退订了，还要那么多水干什么？有病啊？”
“第三，什么是湿刻法？你又不懂技术，别瞎出主意！”
齐磊，“挂了！”
现在，他可以基本确定，EUV
LLC就是在搞湿刻。
在湿刻法，也就是浸润式光刻机出来之前，几大光刻机厂家，包括尼康、阿斯麦等等，都是干刻。
所谓光刻，就是把光打在掩模板上，再投射到晶圆上面，使得晶圆上的光学胶水发生反应，行程电路的过程。
干刻时代，从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的，极限就是193纳米。
而湿刻，顾名思义，就是把在气体介质中进行的光刻过程移到水里。
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