“我在脑子里跟电脑里都模拟过了，妥。虽然我的解法跟阿斯玛的做法不一定一致——我也说了，考虑到当前华夏的工业生产水平，相比起光刻机，我目前为了先做出来的方案一，更像是‘光刻房’。浸润系统的成本不是量产级别，我还需要根据实际生产的情况进行优化。”
……嘶，梁总匝巴嘴，心想姑且当李颜说的是真的，便继续问道：
“分辨率跟套刻精度呢？”
“跟阿斯玛的一样，193的波长，ArFi光刻机，分辨率38nm，得益于浸润式的提升，最小制程7nm。”
梁总心里一边听一边狂喊“不可能”，喊得筋疲力尽。
李颜突然一拍脑袋，补充道，“当然，目前套刻精度受制于制作工艺精度，实际用起来，想要通过多重曝光达到7nm制程，良品率应该不太妙。只能算是理论上没问题，实际应用的话，应该还是制程28nm的芯片为主。”
“你说的要都是真的，你就是华夏这个行业的救世主。”范总用夸奖的方式把梁总心里的不可能喊了出来，“完完全全就是从无到有带领我国芯片产业往上跨了几个台阶！不可思议！”
梁总继续问，“掩模板、晶圆、光源等模组的定位与运作，你竟然能用手拆了之后复原，并且不影响他们的精度？”
“梁总，要是光刻机的精度取决于安装时手抖与否，那也太低级了。就算是全机械流水线安装，大型器械的精度难道就能匹配光刻机的零件精度吗？”
“那……”
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