第五百二十四章世界前五的天才
在南方光学里，徐申学看到了他们的先进第五代S传感器的产线，同时也看到了他们还在实验室里的第六代S传感器的样品。
当然更重要的还是看了他们的光刻机镜片生产线！
这个光刻机镜片的生产线，和常规工业产品的厂房是有巨大差异的。
徐申学所看到的是更像是实验室一样的生产车间，里头有着大量的顶级的设备，并且整个生产环境都是属于高度无尘环境。
南方光学的负责人解释道：“车间里生产的是EUV光刻机使用的镜片，其平面精度非常高，空气里随便一粒灰尘落在上面，都意味着超高精度的镜片上出现了一座‘大山’，为了制造这种镜片，必须在超洁无尘环境下进行！”
“现在这个车间生产的镜片，是用于HEUV-300B光刻机的主镜片，镜面直径达到一米，但是表面粗糙度只有三十五皮米，而面精度，即峰值与谷值的差值只有0.15纳米。”
“也只有这种平整度的镜片，才能够镜收集极紫外光光源，最后产生稳定的13.5纳米的极紫外光光束用于曝光生产！”
“为了达到这种超高精度，我们在材料上使用了总公司材料研究院研发的XHJ14钼/硅复合材料，足以反射极紫外光不吸收，同时在加工上，我们通过采用离子束抛光为主，再辅以磁流变抛光等多种抛光技术，通过多种不同的抛光工艺相互结合，逐步平整镜片，最后达到了设计要求！”
“这位是我们南江科技的副总经理兼光刻机镜片事业部总经理，我司首席科学家曹星辰曹教授，之前的DUV镜片以及现在的EUV镜片，都是他带着团队做出来的！”
徐申学看着前方这个小老头，脸上带着热诚的笑容上前握住了曹教授的手：“多亏曹教授的多年辛苦，这才能够搞出来至关重要的光刻机镜片，才能够打破国外的光刻机封锁，国内半导体事业的蓬勃发展，曹教授居功至伟啊！”
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