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        第四百二十四章制裁:百分百汽车关税

        深城,海湾科技的三号楼,也是EUV项目办公楼里的一楼实验室里。

        徐申学带着几个集团高管在海湾科技的众人陪同下,参观了这台EUV光刻机原型机。

        EUV光刻机这东西,光看外表也看不出来什么,就是一个大柜子……光看这个大柜子,普通人很难想象这东西的价格得至少一点五亿美元甚至更贵。

        此时海湾科技的CEO王道林,则是一脸兴奋的向徐申学介绍着这台原型机的基本情况:“我们的这台原型机在研发的时候,已经历经了多次的试验机型的研发,以逐步提升技术水准!”

        “如在关键技术参数,也就是数值孔径上,我们一开始只能做到0.25,而而这一水平的数值孔径下,哪怕是我们采用了波长更短极紫外光,但是最后做出来的分辨率依旧不行,第一代试验机的分辨率只有三十五纳米!”

        “后续我们继续研发,通过多系统的整合,先进材料的进一步应用,把数值孔径提升到了0.33,也就是国外ASML旗下产品的同等水准。”

        “同时我们在其他子系统,尤其是光源系统以及镜片系统上也获得了巨大的技术进步,等到第二代试验机的时候,我们已经把分辨率提升到了二十纳米!”

        “理论上来说,这个分辨率已经很不错,已经可以用来生产现在的这些十纳米等效工艺,十二纳米等效工艺,甚至等效七纳米的芯片了!”

        “但是性价比太低了,现在的EUV光刻机研发成本投入巨大,同时制造的硬件成本也会非常大,最后售价可能是现有的DUV浸润式光刻机的两倍以上,但是EUV光刻机的生产效率目前还无法提升,只维持在每小时一百片的水准,这意味着从商业价值上来说,第二代试验机依旧没有实际价值,同时当时的套刻精度也只有二点五纳米。”

        “而我们目前量产的最先进的HDUV-600B型光刻机,分辨率达到38纳米,套刻精度2.5纳米,已经可以很充分的满足10-14纳米工艺的芯片生产需求,性价比更高!”

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