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第332章 我们就差这张牌了! (3 / 11)
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你的笔有多细,决定了你的母版有多精细。
而我们,我们国产的、最先进的电子束写入机,能稳定刻画的最小线宽,是65纳米。
用65纳米的笔,去雕刻5纳米的图案,这是不可能的。”
多电子束写入机是一种用于高精度图案转移的先进半导体制造设备,通过使用多个电子束同时在晶圆上写入图案。
梁孟松说的更常见一点的名词叫掩膜版,光透过掩膜版在硅片上印上图案,掩膜版的精度决定了硅片上集成电路的精度。
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