第327章 风起华盛顿 (5 / 12)

        　　

        　　无论是国产生产线，还是说用ASML的那些生产线，都能用到这个系统。”

        　　

        　　“最后一个，循环系统呢？”另一位李工问道。

        　　

        　　陈磊说：“这就是我认为最有价值，也最意想不到的部分：喷墨式精准涂胶系统。”

        　　

        　　他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置：“传统的DUV光刻，是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶，超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。

        　　

        　　而NIL为了精准压印，开发了类似喷墨打印的技术，需要哪里有图形，就在哪里喷涂一滴树脂，用量极省，而且均匀性可控。”

        　　

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