除了这些设备，还有一个更重要的软件，必须通过这些控制软件来实现晶圆的生产。
90年代末，ibm抢占了cim系统发展的先机，成为霸主。
半导体领域的工业软件统称为cim系统。
它借助计算机的控制与信息处理功能，帮助半导体工厂实现产品的自动化生产。简而言之，cim系统就是半导体工厂里的总指挥官。
半导体产业链环节多、周期长，cim系统可以保证每一个环节的设备，都能按照要求来执行命令，每一个工艺的参数都没有偏差，每一个晶圆的缺陷都能有据可循，每一台设备都能被高效利用。
这些环节的实现，得益于cim的四个功能：对生产资料及人力资源的调配管理功能，编程、建模等设计功能，自动化制造功能及质量控制功能。这些功能由不同软件实现。
cim系统大致可以划分为三大类：生产系统、设备系统、质量系统。生产系统负责生产管理，以mes为代表；设备系统负责自动化及设备管理，其中eap最具代表性。质量系统负责品质管理，如yms。
从生产资料跟生产力关系的角度来看，6吋晶圆生产的核心是人，或者说，是人为主，设备为辅；8吋晶圆生产的核心是人加生产资料，即两者的协同体；12吋晶圆生产的核心是设备，讲求高度自动化。
8英寸以半自动厂为主，12英寸基本都是全自动。在一座12英寸晶圆厂中，每一片晶圆要在几百甚至上千台设备间流转往复，生产工序超过千道，任何一个环节出差错都会直接影响良率和效率。
除了ibm外，三星也在1995年推出了本土第一套cim。19797年，海力士开始做自己的cim。
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